前世雖然Nikon憑借技術(shù)實(shí)力和資金實(shí)力先后研制成功F2準(zhǔn)分子激光器和浸沒式光刻技術(shù)，生產(chǎn)成功浸沒式光刻機(jī)，但半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)更新?lián)Q代迅速，導(dǎo)致Nikon光刻機(jī)的可靠性能始終落后于ASML，從此，全球高端光刻機(jī)龍頭Nikon逐漸敗給了全球光刻機(jī)新霸主ASML。
前世由于ASML獨(dú)有的EUV光源無人能夠研制，國(guó)內(nèi)光刻機(jī)光源生產(chǎn)公司的技術(shù)沒有競(jìng)爭(zhēng)力，以美國(guó)為首的西方國(guó)家并沒有限制ArF準(zhǔn)分子激光器和ArFi準(zhǔn)分子激光器的出口。
BSEC可以直接進(jìn)口市場(chǎng)價(jià)45五萬美元一臺(tái)的GCA牌ArF準(zhǔn)分子激光器，購買蔡司公司生產(chǎn)的光學(xué)系統(tǒng)，進(jìn)口6英寸晶圓，加上獨(dú)創(chuàng)的光刻機(jī)磁懸浮式雙工作臺(tái)系統(tǒng)，就能生產(chǎn)1um制程工藝的光刻機(jī)，雖然6英寸晶圓、1um制程工藝的半導(dǎo)體生產(chǎn)線是西方國(guó)家淘汰的生產(chǎn)線，但在國(guó)內(nèi)還大有市場(chǎng)。
BSEC就可以活下來！
理想很美好，但現(xiàn)實(shí)很骨感，BSEC就是能制造1um制程工藝的光刻機(jī)，不代表能生產(chǎn)6英寸晶圓、1um制程工藝的半導(dǎo)體生產(chǎn)線！
國(guó)內(nèi)缺乏半導(dǎo)體生產(chǎn)線設(shè)備的全產(chǎn)業(yè)鏈，如今都?jí)涸诹薆SEC的肩上。
BSEC生產(chǎn)的1um制程工藝的光刻機(jī)也沒有晶圓公司會(huì)用！
誰投資誰倒霉，這就是“造不如買、買不如租”的主要原因！
好在193nm波長(zhǎng)的世界性光學(xué)難題將困惑光刻機(jī)行業(yè)八年，給了BSEC成長(zhǎng)的機(jī)會(huì)，不然重生者也無能為力。
BSEC的突破點(diǎn)就是趕在ASML之前率先研制成功世界上第一臺(tái)193nm波長(zhǎng)的浸沒式光刻機(jī)！
孫健所有的運(yùn)作就是圍繞這個(gè)突破點(diǎn)！
EUV光刻機(jī)太過復(fù)雜，即使投入巨資研發(fā)成功EUV光源，但對(duì)相關(guān)的光學(xué)系統(tǒng)、光刻膠、掩膜版等設(shè)備和材料的要求太過苛刻，需要十萬個(gè)零件，據(jù)說前世有五千多家生產(chǎn)商為EUV光刻機(jī)供貨，重生者還不敢付諸實(shí)踐。
“孫董事長(zhǎng)，BSEC能否不轉(zhuǎn)讓磁懸浮式雙工作臺(tái)系統(tǒng)專利給Nikon？”
擁有了BSEC的磁懸浮式雙工作臺(tái)系統(tǒng)專利的終身授權(quán)，GCA光刻機(jī)光學(xué)精密設(shè)備研究所升級(jí)改造，只要研制成功適應(yīng)800nm制程工藝的磁懸浮式雙工作臺(tái)系統(tǒng)（不能出售和轉(zhuǎn)讓專利技術(shù)），GCA光刻機(jī)的制程工藝就有可能達(dá)到500nm，達(dá)到Nikon光刻機(jī)的制程工藝，購買休斯電子材料公司（AEMC）生產(chǎn)的8英寸晶圓，還能提高35%左右的產(chǎn)能。
有了磁懸浮式雙工作臺(tái)系統(tǒng)和蔡司公司的光學(xué)系統(tǒng)，Gikon重新爭(zhēng)奪高端光刻機(jī)市場(chǎng)份額的資本。
但前提是BSE。
“艾德里安總經(jīng)理，BSEC開發(fā)的光刻機(jī)磁懸浮式雙工作臺(tái)系統(tǒng)拿到日本和歐美國(guó)家簽發(fā)的公司發(fā)明專利，要等18個(gè)月左右。”
“孫董事長(zhǎng)，我放心了！”
艾德里安頓時(shí)輕松了一大截，孫董事長(zhǎng)還是挺幽默的。
“湯普森院長(zhǎng)，公司如今經(jīng)費(fèi)緊張，光源研究所是繼續(xù)研制ArF準(zhǔn)分子激光器？還是像Nikon開始研制F2準(zhǔn)分子激光器？”
“孫董事長(zhǎng)，我認(rèn)為光源研究所應(yīng)該另辟蹊徑，開始研制波長(zhǎng)只有十幾個(gè)納米的極紫外光？”
GCA在八五年就研制成功ArF準(zhǔn)分子激光器，在光刻機(jī)光源領(lǐng)域全球領(lǐng)先，但在透鏡和反射鏡構(gòu)成的光學(xué)系統(tǒng)方面遜于Nikon半導(dǎo)體設(shè)備公司不斷提升的光學(xué)系統(tǒng)，加上光刻機(jī)光源被卡在193nm波長(zhǎng)上多年，又遭遇全球芯片生產(chǎn)的衰退期，光刻機(jī)的霸主地位逐漸被光學(xué)系統(tǒng)不斷提升的Nikon半導(dǎo)體設(shè)備公司搶走，年年虧損，公司裁人，技術(shù)人員流失，淪落到兩次被賤賣的地步。
“湯普森院長(zhǎng)預(yù)測(cè)光源研究所，能在多長(zhǎng)的時(shí)間內(nèi)研制成功極紫外光？”
孫健心中一喜，他不是不想投資研制極紫外光，而是擔(dān)心投資太大，即使研制成功，沒有配套的光學(xué)系統(tǒng)和相適應(yīng)的光刻膠、掩膜版等，GCA也生產(chǎn)不出EUV光刻機(jī)！
前世，舉國(guó)之力研制13.5nm的EUV光源也沒有結(jié)果，在世界上只有ASML控股的Cymer才能生產(chǎn)EUV光源，可見難度之大！
在光刻機(jī)光源方面，光刻機(jī)光源后起之秀Cymer如今還不是GCA的對(duì)手。
Cymer前世能成為光刻機(jī)光源的霸主，除了被ASML收購后不斷投入巨資研發(fā)外，也有ASML將收購的GCA光刻機(jī)光源研究所并入Cymer光刻機(jī)光源研究院，強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合。
前世，極紫外光技術(shù)的研發(fā)成功，不知道湯普森院長(zhǎng)在其中發(fā)揮的作用？
GCA光刻機(jī)半導(dǎo)體研究院的研究重心應(yīng)該放在技術(shù)領(lǐng)先的ArF準(zhǔn)分子激光器和KrF光刻膠研制上。
GCA與IBM同是Sematech會(huì)員，贏者通吃，避免重復(fù)研究，不擔(dān)心IBM卡B子，IBM壟斷KrF光刻膠十幾年，但不知道什么原因？前世是信越化學(xué)等日本公司在光刻膠上一枝獨(dú)秀，還卡了韓國(guó)人的脖子！
“孫董事長(zhǎng)，只要能保障光源研究所的研發(fā)經(jīng)費(fèi)，我保證光源研究所三年內(nèi)研制成功極紫外光?！?br/>
“湯普森院長(zhǎng)，光源研究所需要多少研發(fā)經(jīng)費(fèi)？”
湯普森院長(zhǎng)不是年輕人，敢打包票，就說明有絕對(duì)的把握，重生者不怕花錢！一旦攻克了EUV，能否生產(chǎn)EUV光刻機(jī)？GCA都會(huì)成為光刻機(jī)行業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)者！
“董事長(zhǎng)，我需要三千萬元美元的研發(fā)經(jīng)費(fèi)，購買新的實(shí)驗(yàn)機(jī)器和材料?！?br/>
艾德里安和布羅迪等眾人喜憂參半，公司如今的現(xiàn)金流只剩下三百多萬美元，要花錢的地方多的是。
“湯普森院長(zhǎng)，我現(xiàn)在就答應(yīng)你，要是光源研究所在三年內(nèi)研究成功極紫外光技術(shù)，我承諾獎(jiǎng)勵(lì)光刻機(jī)光源研究所研發(fā)團(tuán)隊(duì)五百萬美元，其中一百萬美元獎(jiǎng)勵(lì)湯普森院長(zhǎng)。”
這個(gè)時(shí)代的三千萬美元相當(dāng)于二十年后的三十億美元，可以收購40%ASML的股權(quán)，不是一筆小數(shù)目！
即使花了三千萬美元，三年內(nèi)沒有研發(fā)成功，孫健相信GCA的光刻機(jī)光源技術(shù)和制程工藝也會(huì)突飛勐進(jìn)。
眾人一臉的驚訝。
“多謝董事長(zhǎng)！”
湯普森也是一愣。
先入為主，重生者二手準(zhǔn)備，當(dāng)然希望湯普森院長(zhǎng)率領(lǐng)GCA光刻機(jī)光源研究所，率先研制成功EUV，重新成為光刻機(jī)霸主后，GCA收購Cymer和AEMC，強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，就是收購SVG和Ultratech，成為美國(guó)唯一的光刻機(jī)公司，與Nikon和競(jìng)爭(zhēng)，美國(guó)政府也會(huì)支持。